不锈钢风淋室半导体车间的应用

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，

应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。

例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。

直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0。24um线性膨胀，所以必须有0。1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，

是怕钠的半导体车间因为人出汗以后，对产品将有污染，

不锈钢风淋室特别特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。

相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。

风淋室标准功能配置及产品特，相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子？